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据了解，中芯国际8英寸扩产中所购买的大多为新设备，且相关订单早已敲定，剩下的工作只是交付和装载。
第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。
